磨削碳化硅生产技术
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雷蒙磨和球磨机的区别

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全自动智能化环保节能立式磨粉机已经新鲜出炉啦!

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磨削碳化硅生产技术

  • 「碳化硅」晶圆制造及精密磨削、抛光、清洗解决方案,实现

    2024年3月7日  目前,碳化硅晶体的生长技术和器件的制造工艺已达到高水平成熟度,并在全球范围内形成了完整的材料、器件和应用领域产业链。尽管技术已日趋成熟,但生产高性能碳化硅衬底对晶圆制造商而言仍是一大挑战。

  • 碳化硅衬底磨抛加工技术的研究进展与发展趋势 艾邦半导体网

    2024年8月24日  摘要 碳化硅衬底难加工的材料特性叠加其大尺寸化、超薄化的放大效应,给现有的加工技术带来了巨大的挑战,高效率、高质量的碳化硅衬底加工技术成了当下的研究热点本文综述了碳化硅衬底机械磨抛加工技术和化学反应磨抛加工技术的研究进展,对比各类

  • 中北大学刘瑶副教授、祝锡晶教授等:SiC陶瓷先进磨削技术

    2024年8月24日  本文综述了SiC陶瓷先 进磨削技术的最新研究进展,介绍了高速磨削(HSG)、超声振动辅助磨削(UVAG)、激光辅助磨削(LAG)和电解在线修整磨削(ELIDG)等技术的磨削原理和设备,通过讨论不同加工技术下的表面完整性、材料去除机理、仿真模拟等

  • 详解碳化硅晶片的磨抛工艺方案 知乎

    2023年4月28日  研磨工艺是去除切割过程中造成碳化硅晶片的表面刀纹以及表面损伤层,修复切割产生的变形。 由于SiC的高硬度,研磨过程中必须使用高硬度的磨料(如碳化硼或金刚石粉)研磨SiC切片的晶体表面。 常规的研磨工艺一般分为粗磨和精磨。 1)常规双面磨工艺 目前国内较多的碳化硅衬底厂商已经在规模化生产的工艺方案。 a)粗磨:采用铸铁盘+单晶金刚石研磨液双

  • 碳化硅晶片减薄砂轮与磨削技术分享; 知乎

    2023年10月31日  本文将介绍萨普新材的碳化硅晶片减薄砂轮与磨削技术,从磨削过程中的晶圆损伤机理,到晶圆的粗磨和精磨减薄,用金刚石砂轮实现低损伤和高切削速率的晶圆薄化加工。

  • 碳化硅单晶衬底加工技术现状及发展趋势 知乎

    2021年12月16日  摘 要:碳化硅单晶具有极高的硬度和脆性,传统加工方式已经不能有效地获得具有超高光滑表面的碳化硅晶片。针对碳化硅单晶衬底加工技术,本文综述了碳化硅单晶切片、薄化与抛光工艺段的研究现状,分析对比了切片、薄

  • 碳化硅衬底磨抛加工技术的研究进展与发展趋势

    2024年4月17日  摘要: 碳化硅衬底难加工的材料特性叠加其大尺寸化、超薄化的放大效应,给现有的加工技术带来了巨大的挑战,高效率、高质量的碳化硅衬底加工技术成了当下的研究热点本文综述了碳化硅衬底机械磨抛加工技术和化学反应磨抛加工技术的研究进展,对比各类

  • 碳化硅的金刚石高效精密磨削机理和实验研究 百度学术

    碳化硅的金刚石高效精密磨削机理和实验研究 碳化硅陶瓷具有高强度和硬度,高弹性模量,低密度,良好的导热性和低膨胀性等优点,在石油,化工,航空航天,汽车等工业领域得到了广泛应用,但由于脆性大而在精密及超精密加工中难以达到良好的精度及表面质量,同时

  • 碳化硅磨削微观损伤机理及其高性能磨削技术研究 百度学术

    碳化硅磨削微观损伤机理及其高性能磨削技术研究 来自 知网 喜欢 0 阅读量: 306 作者: 吴重军 摘要: 高速加工是20世纪70年代在欧洲和美国兴起的一种加工技术,它可以根据加工对象的不同,在高材料去除率,极好的加工经济效益下很好地满足产品的质量

  • 碳化硅菲涅尔微结构的激光超精密磨削工艺技术基础 百度学术

    围绕碳化硅菲涅尔微结构这种典型硬脆复杂零件的高效高精度加工目标,本文开展了碳化硅的激光加工机理,菲涅尔微结构的激光成型工艺,菲涅尔微结构磨削波纹度等方面的理论和实验研究本论文主要包含以下几个方面: (1)通过激光烧蚀环槽实验分析了红外亚纳秒

  • 「碳化硅」晶圆制造及精密磨削、抛光、清洗解决方案,实现

    2024年3月7日 — 目前,碳化硅晶体的生长技术和器件的制造工艺已达到高水平成熟度,并在全球范围内形成了完整的材料、器件和应用领域产业链。尽管技术已日趋成熟,但生产高性能碳化硅衬底对晶圆制造商而言仍是一大挑战。

  • 碳化硅衬底磨抛加工技术的研究进展与发展趋势 艾邦半导体网

    2024年8月24日 — 摘要 碳化硅衬底难加工的材料特性叠加其大尺寸化、超薄化的放大效应,给现有的加工技术带来了巨大的挑战,高效率、高质量的碳化硅衬底加工技术成了当下的研究热点本文综述了碳化硅衬底机械磨抛加工技术和化学反应磨抛加工技术的研究进展,对比

  • 中北大学刘瑶副教授、祝锡晶教授等:SiC陶瓷先进磨削技术

    2024年8月24日 — 本文综述了SiC陶瓷先 进磨削技术的最新研究进展,介绍了高速磨削(HSG)、超声振动辅助磨削(UVAG)、激光辅助磨削(LAG)和电解在线修整磨削(ELIDG)等技术的磨削原理和设备,通过讨论不同加工技术下的表面完整性、材料去除机理

  • 详解碳化硅晶片的磨抛工艺方案 知乎

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  • 碳化硅晶片减薄砂轮与磨削技术分享; 知乎

    2023年10月31日 — 本文将介绍萨普新材的碳化硅晶片减薄砂轮与磨削技术,从磨削过程中的晶圆损伤机理,到晶圆的粗磨和精磨减薄,用金刚石砂轮实现低损伤和高切削速率的晶圆薄化加工。

  • 碳化硅单晶衬底加工技术现状及发展趋势 知乎

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  • 碳化硅衬底磨抛加工技术的研究进展与发展趋势

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    碳化硅的金刚石高效精密磨削机理和实验研究 碳化硅陶瓷具有高强度和硬度,高弹性模量,低密度,良好的导热性和低膨胀性等优点,在石油,化工,航空航天,汽车等工业领域得到了广泛应用,但由于脆性大而在精密及超精密加工中难以达到良好的精度及表面质量,同时

  • 碳化硅磨削微观损伤机理及其高性能磨削技术研究 百度学术

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